湖北半自动FOSB清洗机按需定制

FOUP内的污染物可以来自多个来源，以下是其中一些常见的来源：过程残留物：在半导体制造过程中，涉及到各种化学物质、溶剂、清洗剂等。这些物质可能在晶圆处理过程中残留在FOUP内，成为污染物的来源。颗粒物：在半导体制造环境中，微小颗粒是一个主要的污染源。这些颗粒可以来自空气中的灰尘、工作环境的杂质、设备的磨损等。这些颗粒物有可能通过FOUP的开口进入FOUP内部，导致污染。人为操作：在FOUP的处理、维护和运输过程中，如果操作不当，例如没有正确地清洁操作工具、使用脏手触摸FOUP等，都会引入污染物。传输和存储过程：FOUP在制造过程中需要经过多个环节的传输和存储，包括机器之间的传输、暂存库等。在这些过程中，如果传输设备或存储环境不洁净，或者FOUP密封不严密，都会导致污染物进入FOUP内。外部环境污染：FOUP在制造过程中可能暴露在环境中，例如在洁净室内。如果洁净室内的空气质量不佳，存在空气中的微尘和颗粒物可能会进入FOUP内部，并成为污染源。江苏芯梦的设备具有多种智能功能，助你轻松应对生产挑战！湖北半自动FOSB清洗机按需定制

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机

（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）

适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥

设备特点：

1、清洗对象：12寸FOUP

2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成

3、清洗能力：24只FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）

4、干进干出；

5、可与AMHS对接、可人工上料；

6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；

7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；

8、可预设多条Recipe,操作简洁；

9、选配SECS/GEM接口；

10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；

11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm 河北半自动FOSB清洗机联系人芯梦半导体专注品质，从不将就！

江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦成立三年来高速发展，现有员工人数近300人，其中40%为技术研发人员，近3年营收复合增长率超100%。江苏芯梦始终坚持创新，不断攀登半导体湿法装备技术高峰，自主研发的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;自主研发的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断。

全自动FOUP清洗机具有以下特点：完全自动化：全自动FOUP清洗机是以完全自动化的方式进行清洗。它通常配备了自动上料、清洗、烘干、卸料等功能，可以在一个连续的工作流程中完成整个清洗过程。操作员只需将FOUP放置到设备中，并设置相应的清洗参数，清洗机会自动完成后续的操作。高效率：全自动FOUP清洗机通常具有高清洗效率。由于自动化的特性，全自动设备可以实现高速、连续的操作，提高了清洗的效率和生产能力。它们可以在较短的时间内处理多个FOUP，并具有较高的清洗一致性和稳定性。多功能性：全自动FOUP清洗机通常具备多种功能和选项，以满足不同的清洗需求。它们可能具有多种清洗程序，例如预洗、主洗、漂洗等，以及不同的清洗介质选择、温度和时间控制等。这使得全自动清洗机能够灵活适应不同类型的FOUP和不同的清洗要求。自动监测和控制：全自动FOUP清洗机通常配备了自动监测和控制系统，以确保清洗过程的准确性和一致性。它们可能配备温度、压力、流量等传感器，以实时监测清洗过程中的参数，并根据设定的标准进行自动调整和控制节约资源：全自动FOUP清洗机通常设计为节约资源的设备。它们可能采用高效的清洗介质循环系统。选择芯梦设备，让你的生产更加灵活、多样化！

江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护，并获得了国家高新技术企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在独角曾企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。 芯梦设备具有灵活的生产模式，满足你的个性化需求！山东晶圆盒清洗机报价行情

我司设备具有高精度特点，确保生产质量！湖北半自动FOSB清洗机按需定制

产品介绍:半导体清洗机请认准江苏芯梦半导体设备有限公司，经营各类半导体清洗机，为半导体清洗机专业供应商，其中就包含FOUP清洗机。FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以实现无与比的清洗和干燥效果装载有待清洗的foup在Chambe的中转安装和固定在封的清洗室内36正反转动。由D1Wlate的表面张力、机械力进Patcdle清洗离心+热风进行供干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的Particle清洗。设备特点：五大系统结构、纯水加热PWH、高压喷淋HPS（喷头位置/形状，可以根据客户料盒形态针对性调整）、热风烘干HAD（可选配CDA吹干和红外模式）、快速甩干HSD、CDA/N2吹扫。配备强大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容，晶圆盒/光罩盒/弹匣/FOUP/FOSB等；30~60分钟完成1次清洗工艺，快速实现干进干出；四工位/六工位选择，依不同产品适配的装载量；配备可靠的过滤系统；EN18822-H14高等级空气过滤系统；0.1um超纯水过滤；0.003umCDA过滤。湖北半自动FOSB清洗机按需定制